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大型科研儀器賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新 “園企走平臺” 蕭山區(qū)重點企業(yè)與省高能級平臺雙向?qū)咏涣鲿晒εe辦
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奧偉登CIOE 2025光學測量雙新品首發(fā) 破解高精度光學檢測難題
2025年09月12日 15:06:47
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：宋池 點擊量：8366
在Evident（奧偉登）新品發(fā)布會后，化工儀器網(wǎng)特別采訪了公司應用工程師吳丹霞和高級經(jīng)理馬永堅，請他們詳細解讀了剛剛發(fā)布的LEXT OLS5500激光共聚焦顯微鏡和WLI白光干涉物鏡系列的技術特點與應用價值。
9月10日，在第26屆中國國際光電博覽會隆重舉辦之際，國際光學科技企業(yè)Evident(奧偉登)以全新中文品牌名稱首次亮相這一行業(yè)盛會，并在展會期間成功舉辦新品發(fā)布會，重磅推出LEXT OLS5500激光共聚焦顯微鏡與WLI白光干涉物鏡系列兩款創(chuàng)新產(chǎn)品。其多技術集成設計與針對性解決行業(yè)痛點的性能表現(xiàn)，成為展會焦點。
為進一步挖掘新品在技術細節(jié)、精度優(yōu)勢、場景適配等維度的核心價值化工儀器網(wǎng)在發(fā)布會后特別專訪了 Evident 應用工程師吳丹霞與高級經(jīng)理馬永堅，圍繞兩款新品的定位、技術突破及應用落地展開深度對話。以下是采訪實錄：
Q：在剛剛結束的發(fā)布會上，奧偉登發(fā)布了激光共聚焦顯微鏡OLS5500。我們對于這款新產(chǎn)品的一個定位是什么呢?它能夠滿足一些怎么樣的一個應用場景呢?
吳丹霞：此次推出的全新一代激光共聚焦顯微鏡OLS5500是一款面向研發(fā)、質(zhì)量檢測和質(zhì)量控制(QA&QC)等領域的中高端三維輪廓精密測量系統(tǒng)。它集高精度、高穩(wěn)定性和高效率于一體，可以全面覆蓋多種嚴苛的工業(yè)和科研場景的需求：在電子半導體市場，它可以有效兼顧檢測精度和效率；在材料科學市場，先進的成像技術和豐富的分析工具可以幫助實現(xiàn)對材料微觀結構的深入解析；在精密制造市場，則可以保障批量檢測中數(shù)據(jù)的可靠性和流程一致性。
Q：隨著工業(yè)制造水平的逐步提升，用戶對光學顯微鏡提出了更高的要求。奧偉登本次發(fā)布的這款新產(chǎn)品相較于前代產(chǎn)品實現(xiàn)了什么樣的技術突破？如何更好地滿足亞微米3D觀察和表面粗糙度測量的精準度要求？
吳丹霞：OLS5500相較于上一代產(chǎn)品最核心的突破，在于首次將激光掃描顯微、白光干涉和聚焦變化三種主流光學成像技術集成于一體，將設備的微觀分析能力從OLS5100的微米級別拓寬延伸至覆蓋毫米級到納米級，實現(xiàn)“一臺設備檢測多種樣品類型”。相較之下，它既可以在保障準確性的同時實現(xiàn)更高的分析精度，而且對于同個樣品可以無縫實現(xiàn)從宏觀輪廓到納米結構的跨尺度精密分析，并且可以滿足大視場下的亞微米甚至納米級3D 觀察和表面粗糙度測量需求。
Q：OLS5500目前的精度可以達到多少？這個精度在同類產(chǎn)品中處于怎樣的技術水平？在實際應用場景過程中，這種高分辨率是如何應對工業(yè)環(huán)境當中的干擾問題呢？
吳丹霞：OLS5500的平面分辨率能達到0.12 微米，垂直分辨率能達到0.08納米。這個分辨精度，在同類產(chǎn)品中處于第一梯隊。在實際工業(yè)環(huán)境中，振動、溫度波動、電磁干擾等都是高精度測量需要克服的問題。OLS5500采用的是Evident自主研發(fā)的光學系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)設備性能的穩(wěn)定和一致，確保出廠設備的測量噪聲水平達到最佳；其次OLS5500機身帶有混合式減震設計能穩(wěn)定操作環(huán)境；同時在軟件的設計上智能噪聲判斷功能能自動檢測可靠數(shù)據(jù)，消除環(huán)境噪聲的干擾。這些設計使得OLS5500即使在復雜條件下也仍能為用戶提供可靠的高精度數(shù)據(jù)。目前Evident是業(yè)內(nèi)唯一可同時保證激光掃描與白光干涉測量準確性和重復性的企業(yè)。
Q：奧偉登本次發(fā)布的白光干涉物鏡在光學性能上有著什么樣的突破？在材料、技術等方面如何提升物鏡干涉條紋對比度？
馬永堅：此次新發(fā)布的白光干涉物鏡是基于大量客戶需求調(diào)研后進行的獨特設計，重點解決了當前白光干涉儀在測量大坡度樣品時的技術難題。
首先，該物鏡具備較高的數(shù)值孔徑，最高達到0.8，能夠更有效地收集來自大坡度光滑樣品表面的反射光，從而顯著提升白光干涉儀在這類樣品上的測量精度。同時，物鏡配備了干涉條紋溫度補償調(diào)節(jié)環(huán)。在環(huán)境溫度發(fā)生波動時，用戶可通過調(diào)節(jié)該環(huán)始終保持最佳的干涉條紋對比度，無需因溫度變化而擔心測量穩(wěn)定性。此外，我們在調(diào)節(jié)環(huán)上設置了四個固定螺絲，每隔90度布置一個。這樣用戶在使用過程中可有效避免因設備振動或調(diào)節(jié)環(huán)自身位移所導致的干涉條紋偏移問題，進一步保障測量的重復性與準確性。
除了結構方面的優(yōu)化，每一個出廠物鏡均附有嚴格的檢測報告，其中包括參考鏡的粗糙度與對比度數(shù)據(jù)。因為參考鏡作為白光干涉物鏡的核心部件，其質(zhì)量直接影響測量的準確性。同時，我們還提供波前像差校準報告。此外，該物鏡采用半復消色差光學設計，具有良好的分辨率和色差校正能力。
Q：這款產(chǎn)品如何滿足晶圓等表面形態(tài)的檢測需求，尤其是在粗糙度與臺階高度測量方面？
馬永堅：隨著半導體技術和MEMS器件的廣泛應用，具有復雜坡度結構且需納米級測量的樣品越來越多。針對這方面的需求，我們調(diào)研了眾多客戶實際案例，將產(chǎn)品設計重點放在高數(shù)值孔徑上，使其能夠?qū)崿F(xiàn)對高陡坡樣品的納米級三維形貌測量。這正是當前行業(yè)的一大痛點，也是我們產(chǎn)品的核心優(yōu)勢。
Q：與傳統(tǒng)的干涉物鏡相比，這款產(chǎn)品在測量速度、環(huán)境適應性與智能化操作方面是否具備差異化優(yōu)勢？
馬永堅：是的。例如，我們20倍物鏡的數(shù)值孔徑為0.65，10倍物鏡更是達到了0.8。相比之下，傳統(tǒng)物鏡通常需達到50倍放大倍率才能實現(xiàn)與我們20倍物鏡相當?shù)臄?shù)值孔徑。高數(shù)值孔徑帶來最直接的優(yōu)勢是檢測通量的大幅提升。我們的20倍物鏡視場面積可達傳統(tǒng)50倍物鏡的6倍。在進行大區(qū)域掃描或圖像拼接時，可顯著減少拼接次數(shù)，從而提高檢測效率和整體測量通量。
Q：這款產(chǎn)品的最終定位是什么？它適用于哪些應用場景？
馬永堅：這款白光干涉物鏡主要應用于基于白光干涉測量技術的光學輪廓儀。無論是用于研究室、實驗室的臺式光學輪廓儀，還是集成于在線檢測設備中，只要設備使用了白光干涉檢測技術，均可適配這款物鏡。它適用于需要高精度表面形貌測量的多種工業(yè)與科研場景。
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