中圖儀器SuperViewW系列白光干涉儀自動化批量檢測微透鏡，其自動化批量檢測功能可實現(xiàn)數(shù)萬透鏡單元的無人值守檢測，大幅減少人工質(zhì)檢成本，提升檢測效率的同時降低人為誤差：

·支持Mark標(biāo)記點自動定位與位置糾偏，確保每個微透鏡單元測量位置精準(zhǔn)；

·可導(dǎo)入前道工藝坐標(biāo)數(shù)據(jù)，實現(xiàn)與生產(chǎn)工藝的無縫銜接；

·能完成數(shù)千至數(shù)萬個微透鏡單元的自動化批量檢測，全程無需人工干預(yù)；

·支持檢測數(shù)據(jù)的自動統(tǒng)計、合格判定與分Bin分類，檢測效率與精準(zhǔn)度雙在線，契合微透鏡陣列量產(chǎn)階段的質(zhì)檢要求。

在微透鏡陣列檢測中，SuperViewW白光干涉技術(shù)具有以下特點：

· 非接觸測量，避免損傷微結(jié)構(gòu)

· 納米級垂直分辨率

· 適用于非球面及高傾角結(jié)構(gòu)

· 可重建完整3D表面形貌

通過三維數(shù)據(jù)擬合，可進(jìn)一步計算曲率半徑、矢高、面型誤差等參數(shù)。

應(yīng)用場景

隨著AI算力需求激增，光模塊向800G、1.6T高速演進(jìn)，這款設(shè)備可高效完成：

1.光通信光模塊微透鏡陣列檢測，把控核心曲率、面型誤差等參數(shù)，保障光耦合效率與信號穩(wěn)定性；

2.適配VCSEL光學(xué)耦合透鏡檢測，精準(zhǔn)測量納米級幾何參數(shù)，避免光路偏移問題；

3.在消費電子領(lǐng)域，可實現(xiàn)AR/VR微光學(xué)器件的三維形貌檢測，滿足微光學(xué)元件的高精度質(zhì)控要求；

4.針對晶圓制造環(huán)節(jié)，完成晶圓級微透鏡陣列的批量檢測，即便晶圓上有數(shù)萬微透鏡單元，也能實現(xiàn)高效全覆蓋。

SuperViewW系列白光干涉儀自動化批量檢測微透鏡，一臺設(shè)備覆蓋微光學(xué)制造多類核心應(yīng)用場景，適配企業(yè)從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程檢測需求，是光通信、微光學(xué)器件制造企業(yè)的質(zhì)檢裝備。

立即咨詢！免費獲取專屬報價及備件價格清單！

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實時更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。