化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長(zhǎng)設(shè)備>原子層沉積設(shè)備> AT650/850T 臺(tái)式熱原子層沉積設(shè)備
AT650/850T 臺(tái)式熱原子層沉積設(shè)備
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌 ANRIC
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 16:32:42
- 訪問次數(shù) 412
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韋氏納米（FIRSTNANO）是一家成立于2012年的德國(guó)公司，由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦?；凇?span style="padding: 0px; margin: 0px; list-style: none; font-size: 16px; color: rgb(255, 0, 0);">Science is international”的理念，三位創(chuàng)始人提出了“全球協(xié)同實(shí)驗(yàn)室”的夢(mèng)想，致力于推動(dòng)全球科研合作與技術(shù)創(chuàng)新。韋氏納米專注于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域，始終秉持“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨，將技術(shù)引入?yún)f(xié)同實(shí)驗(yàn)室，助力科學(xué)家實(shí)現(xiàn)突破性研究。
自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來(lái)，韋氏納米在中國(guó)穩(wěn)步發(fā)展，相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)，形成了覆蓋全國(guó)的科研服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。我們的產(chǎn)品和服務(wù)涵蓋微納加工制程、材料科學(xué)的檢測(cè)與分析、生命科學(xué)成像、腦科學(xué)與行為認(rèn)知等領(lǐng)域，為全球科研工作者提供技術(shù)支持與解決方案。
韋氏納米的愿景是“從科學(xué)家到科學(xué)家，科學(xué)開創(chuàng)美好未來(lái)”。我們堅(jiān)信，科學(xué)無(wú)國(guó)界，全球科研工作者應(yīng)攜手合作，共同推動(dòng)人類科技進(jìn)步。韋氏納米不僅是一家科學(xué)儀器供應(yīng)商，更是全球科研生態(tài)的重要參與者。我們致力于通過“全球協(xié)同實(shí)驗(yàn)室”的理念，將前沿技術(shù)與全球科研需求緊密結(jié)合，助力科學(xué)家實(shí)現(xiàn)更多研究成果。
韋氏納米匯聚了一支由高學(xué)歷、高素質(zhì)人才組成的國(guó)際化團(tuán)隊(duì)。我們的團(tuán)隊(duì)成員具備深厚的專業(yè)背景和豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。公司始終注重人才培養(yǎng)與引進(jìn)，博士及碩士學(xué)歷人才占比超過70%。正是這支充滿激情與創(chuàng)造力的團(tuán)隊(duì)，推動(dòng)韋氏納米在科研儀器領(lǐng)域不斷進(jìn)步，贏得了全球客戶的信任。
韋氏納米在中國(guó)設(shè)有完善的本地化服務(wù)體系，覆蓋售前、售中和售后全流程。我們?cè)谏虾！⑸钲?、武漢和香港均設(shè)有技術(shù)支持中心和樣機(jī)實(shí)驗(yàn)室，為客戶提供及時(shí)響應(yīng)的技術(shù)支持和設(shè)備體驗(yàn)。此外，我們還建立了高效的備件庫(kù)和物流體系，確?？蛻裟軌颢@得所需的服務(wù)與支持。
“不僅提供前沿的產(chǎn)品，更注重服務(wù)”是韋氏納米的核心價(jià)值。我們深知，科研儀器的價(jià)值不僅在于其技術(shù)性能，更在于其能否真正滿足科學(xué)家的研究需求。因此，我們始終以客戶為中心，致力于為每一位科研工作者提供定制化的解決方案。
公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家，科學(xué)開創(chuàng)美好未來(lái)。
FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域，始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨，將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實(shí)驗(yàn)室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程；材料科學(xué)的檢測(cè)、分析；生命科學(xué)成像，腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商，FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng)，能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。
公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛，其中包括消費(fèi)電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。
在成長(zhǎng)的過程中，我們腳踏實(shí)地、奮勇向前。自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來(lái)，我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。
我們真誠(chéng)邀請(qǐng)業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM，一起為夢(mèng)想揚(yáng)帆起航！
半導(dǎo)體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材
| 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
|---|
AT650/850T 臺(tái)式熱原子層沉積設(shè)備
AT650/850T 臺(tái)式熱原子層沉積設(shè)備，具備現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)為等離子體模式的能力，占地面積小（38.1 厘米，寬 15 英寸），可容納直徑為 6 英寸或更小的樣品。
特征
· 占地面積?。?8.1 厘米;寬 15 英寸，深 15 英寸）臺(tái)式熱敏 ALD
· 可容納直徑為 6 英寸的樣品，并帶有可選的可定制卡盤。
· 可在現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)為等離子體。
· 暖壁鋁室，帶 40 – 400°C 的加熱樣品架
· 3 種有機(jī)金屬前驅(qū)體可加熱至 185°C，另外一種在標(biāo)準(zhǔn)條件下*
· 多達(dá) 4 個(gè)氧化劑/還原劑源，每個(gè)氧化劑/還原劑源均具有超快 MFC（2 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)）
· 高溫兼容快速脈沖 ALD 閥，帶有超快 MFC，用于
· 集成惰性氣體吹掃· 靜態(tài)處理模式下可獲得高曝光
* 可升級(jí)至 4 個(gè)，全部加熱至 185°C。
規(guī)格
· 基板溫度從室溫到 400 °C ± 1 °C（500 °C 可選）;前驅(qū)體溫度從 RT 到 180 °C ± 2°C（帶加熱夾套）
· 占地面積?。?5 英寸 x 15 英寸），臺(tái)式安裝，兼容潔凈室
· 系統(tǒng)維護(hù)簡(jiǎn)單，公用事業(yè)成本低。
· 流線型腔室設(shè)計(jì)和小腔室容積
· 快速循環(huán)能力和高曝光，可進(jìn)行深度滲透處理
· 完整的硬件和軟件聯(lián)鎖，即使在多用戶環(huán)境中也能安全運(yùn)行。
選項(xiàng)
· 等離子升級(jí)
· 定制卡盤/壓板
· ATOzone – 臭氧發(fā)生器（某些薄膜需要：Pt、Ir、SiO2、MoO2、60°C 以下的高質(zhì)量 Al2O3、高質(zhì)量 HfO2）
· QCM（石英晶體微量天平）
· 額外的反反應(yīng)物管線（MFC 控制）——最多 2 個(gè)額外的
· 可選第 4 加熱前驅(qū)體 （185°C）
· 外部控制 – PC/軟件鏈接（允許遠(yuǎn)程編程和運(yùn)行）
· 高于標(biāo)準(zhǔn)壓力狀態(tài)
· 定制系統(tǒng)
設(shè)施
有關(guān)詳細(xì)說(shuō)明，請(qǐng)參閱我們的演示和視頻說(shuō)明：“AT650T 安裝和啟動(dòng) ”
· N2 吹掃氣體應(yīng)為 >99.9995%，帶有截止閥（調(diào)節(jié)至 10 – 30 psi，金屬密封）。
輸入線是 1/4 母頭 VCR 壓縮接頭
通過 1/4 英寸金屬線將 99.9995% 氮?dú)?（UHP） 吹掃氣體>背面的 1/4 英寸壓縮接頭連接起來(lái)
· 通過 90/110 英寸聚乙烯管或金屬線將 1-4 psi CDA（清潔干燥空氣）連接到另一個(gè)標(biāo)有 CDA（清潔干燥空氣）的 1/4 英寸壓縮接頭
· 最小 19.5cfm 濕泵（**需要 PTFE 真空流體（如 Fomblin））（干泵是可選的）
NW40 （1.5“） 連接和排氣管（帶 5cfm > 的抽吸）
大于 1 米應(yīng)使用 NW50 排氣管路
· 前體通過內(nèi)螺紋 VCR 彎頭連接（始終使用新墊圈）。
彎頭：1/4“ 墊圈先（戴手套）
有關(guān)前驅(qū)體的連接，請(qǐng)參閱“AT650T 安裝和啟動(dòng)”
軟件
有關(guān)詳細(xì)說(shuō)明，請(qǐng)參閱我們的演示和視頻說(shuō)明：“AT650T 安裝和啟動(dòng) ”
· 帶 10 英寸觸摸屏的人機(jī)界面 （HMI） PLC 系統(tǒng)
面板· 適用于標(biāo)準(zhǔn) ALD 循環(huán)沉積的高級(jí)控制，如納米層壓板、摻雜薄膜和三元薄膜
· 用于高質(zhì)量、經(jīng)過測(cè)試的工藝的配方數(shù)據(jù)庫(kù)
· 自定義配方輸入屏幕
· 實(shí)時(shí)顯示工藝狀態(tài)
· 可單獨(dú)編程的加熱源溫度
· 用于三元化合物和納米層壓板的內(nèi)置脈沖序列
· 快速運(yùn)行，簡(jiǎn)單的問題讓用戶開始
輸入子周期和總周期
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