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UV-LED曝光系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/12/4 12:52:21
  • 訪問次數(shù) 122

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應(yīng),72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)!
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。



光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)

我們提供了一種基于使用高功率LED和高級均勻化光學(xué)元件的創(chuàng)新紫外線照明系統(tǒng)。該產(chǎn)品線適用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化),適用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種基板和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)UV照明產(chǎn)品系列滿足了300毫米寬(11.8英寸)掩模和晶片的光刻需求。

可以根據(jù)您的具體要求設(shè)計定制解決方案(例如,改裝口罩對準(zhǔn)器,為您未來的產(chǎn)品提供OEM)。有關(guān)UV-LED改裝和定制曝光系統(tǒng)的更多詳細(xì)信息,請參閱我們的解決方案>技術(shù)頁面。

UV-LED曝光系統(tǒng)

為什么選擇LED技術(shù)?

直到最近,汞弧燈是唯1能夠提供適用于紫外光刻曝光的高強(qiáng)度光的光源。由于LED技術(shù)的進(jìn)步,UV LED已成為危險和耗能汞燈的一種非常有吸引力的替代品。

除了生態(tài)和安全方面,與傳統(tǒng)汞燈相比,UV LED的技術(shù)優(yōu)勢在光刻方面是眾多而重要的。UV LED的一個主要優(yōu)點是它們在很長的壽命內(nèi)以一致的發(fā)射運行。因此,不需要進(jìn)行日常校準(zhǔn)和維護(hù)。此外,通過更節(jié)能,LED減少了加熱,大大簡化了系統(tǒng)冷卻。

值得注意的是,可以組合在365nm、405nm和435nm(峰值波長)發(fā)射的LED來模擬汞弧燈的UV-A光譜(汞元素的i線、h線和g線特征峰)


UV-LED曝光系統(tǒng)的優(yōu)勢

照明穩(wěn)定,無需日常校準(zhǔn)

瞬時開啟,僅在曝光時開啟,不需要機(jī)械快門

使用壽命長,意味著不再需要耗材

窄光譜:不會對基材產(chǎn)生不必要的加熱,工藝更可重復(fù)

低功耗

無維護(hù)成本


UV-LED曝光系統(tǒng)




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