UV-LED曝光系統(tǒng)
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/12/4 12:52:21
- 訪問次數(shù) 122
薄膜半導(dǎo)體材料制備系統(tǒng)超高真空組件直寫光刻機(jī)光刻機(jī)NANO IMPRINT納米壓印
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
我們提供了一種基于使用高功率LED和高級均勻化光學(xué)元件的創(chuàng)新紫外線照明系統(tǒng)。該產(chǎn)品線適用于光刻膠曝光(UV-LED光刻和固化),適用于MEMS、微流體、光子學(xué)、半導(dǎo)體和光伏應(yīng)用中使用的各種基板和光刻膠。我們的標(biāo)準(zhǔn)UV照明產(chǎn)品系列滿足了300毫米寬(11.8英寸)掩模和晶片的光刻需求。
可以根據(jù)您的具體要求設(shè)計定制解決方案(例如,改裝口罩對準(zhǔn)器,為您未來的產(chǎn)品提供OEM)。有關(guān)UV-LED改裝和定制曝光系統(tǒng)的更多詳細(xì)信息,請參閱我們的解決方案>技術(shù)頁面。
UV-LED曝光系統(tǒng):
為什么選擇LED技術(shù)?
直到最近,汞弧燈是唯1能夠提供適用于紫外光刻曝光的高強(qiáng)度光的光源。由于LED技術(shù)的進(jìn)步,UV LED已成為危險和耗能汞燈的一種非常有吸引力的替代品。
除了生態(tài)和安全方面,與傳統(tǒng)汞燈相比,UV LED的技術(shù)優(yōu)勢在光刻方面是眾多而重要的。UV LED的一個主要優(yōu)點是它們在很長的壽命內(nèi)以一致的發(fā)射運行。因此,不需要進(jìn)行日常校準(zhǔn)和維護(hù)。此外,通過更節(jié)能,LED減少了加熱,大大簡化了系統(tǒng)冷卻。
值得注意的是,可以組合在365nm、405nm和435nm(峰值波長)發(fā)射的LED來模擬汞弧燈的UV-A光譜(汞元素的i線、h線和g線特征峰)
UV-LED曝光系統(tǒng)的優(yōu)勢
照明穩(wěn)定,無需日常校準(zhǔn)
瞬時開啟,僅在曝光時開啟,不需要機(jī)械快門
使用壽命長,意味著不再需要耗材
窄光譜:不會對基材產(chǎn)生不必要的加熱,工藝更可重復(fù)
低功耗
無維護(hù)成本




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