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半導(dǎo)體氣體中的痕量雜質(zhì)分析系統(tǒng)
- 公司名稱 頤譜（上海）儀器有限公司
- 品牌 JSL/日本
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/11/27 18:22:48
- 訪問(wèn)次數(shù) 37
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直讀光譜儀，碳硫分析儀，氧氮?dú)浞治鰞x，擴(kuò)散氫分析儀，手持式光譜儀，電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，油料光譜儀，油液分析系統(tǒng)，粘度計(jì)，顆粒計(jì)數(shù)器，試驗(yàn)機(jī)，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
| 價(jià)格區(qū)間 | 80萬(wàn)-100萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,綜合 |
|---|
可測(cè)量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導(dǎo)體氣體中的雜質(zhì)成分。
通過(guò)高性能氣相色譜儀可實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)檢測(cè)（操作簡(jiǎn)便）。
可檢測(cè)氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮?dú)猓?/span>N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質(zhì)。
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可測(cè)量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導(dǎo)體氣體中的雜質(zhì)成分。
通過(guò)高性能氣相色譜儀可實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)檢測(cè)（操作簡(jiǎn)便）。
可檢測(cè)氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮?dú)猓?/span>N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質(zhì)。
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