CL4514型氧化擴(kuò)散設(shè)備是各大院校、科研機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室中的典型熱處理設(shè)備，用于微電子系集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導(dǎo)纖維等學(xué)科中進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的教學(xué)和試驗(yàn)工作。

CL4514型氧化擴(kuò)散設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)：

• 爐管數(shù)：1～4管

• 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)

• 恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) ；760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

• 單點(diǎn)穩(wěn)定性：±1.0℃/24h (300～800℃) ；±0.5℃/24h (800～1280℃)

• 懸臂舟參數(shù)：

速度：20～1000 mm/min

行程：2000 mm    

定位精度：±1 mm

載荷：17 Kg

• 氣源路數(shù)：≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器

• 氣體控制：浮子/質(zhì)量流量計(jì)

• 超凈工作臺(tái)：                      

凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房）

• 噪音：≤62dB（A）

• 振動(dòng)：≤3μm

• 報(bào)警及保護(hù)：超溫、斷偶、缺水及真空異常系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警及保護(hù)

• 控制系統(tǒng)：整機(jī)控制系統(tǒng)采用工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(WINDOWS 系統(tǒng)，中文操作界面，方便簡(jiǎn)潔)