INFICON英?？?/span>光學氣體分析儀（Quantus® LP100+）

隨著技術(shù)進步將工藝推向極限，半導(dǎo)體制造過程監(jiān)控變得越來越重要。即使是微量污染也會對結(jié)果產(chǎn)生重大影響，因此在關(guān)鍵制程環(huán)境中進行實時泄漏和端點檢測至關(guān)重要。INFICON Quantus® LP100+ 氣體分析儀可即時識別微小變化并做出反應(yīng)，從而最da限度地減少晶片廢料并提高產(chǎn)量。

Quantus LP100+ 以自等離子體光學發(fā)射光譜 (SPOES) 技術(shù)為基礎(chǔ)，檢測限低至 ppm 以下，安裝位置靈活，可安裝在腔室或泵管線上。

Quantus LP100+ 采用獨特的傳感器設(shè)計，與傳統(tǒng)的 OES 產(chǎn)品相比具有無可比ni的優(yōu)勢。該傳感器可在等離子池中產(chǎn)生局部等離子體，從而將基于 OES 的氣體分析儀的功能從等離子室安裝擴展到非等離子室和其他工具位置，如前線或排氣管路。Quantus LP100+ 的工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr，無需昂貴的泵系統(tǒng)，可與許多工藝兼容，同時只需最少的維護，擁有成本低。

Quantus LP100+ 使用標準 KF25 端口輕松連接到系統(tǒng)。它占地面積小，不會影響工藝工具內(nèi)部和周圍的日常操作。

特點

l 工作范圍從 10 mTorr 到 1 Torr  

l 出色的檢測限低至 ppm 級 

l 使用標準 KF25 連接，安裝簡單 

l 10 Hz 快速采樣率 

l 維護少，長期可靠 

l 擁有成本低，無需泵或耗材 

l 方便現(xiàn)場更換等離子池 

l 占地面積小：（高 x 寬 x 長）87 x 150 x 241 毫米（3.4 x 5.9 x 9.5 英寸）

l 由經(jīng)過現(xiàn)場培訓、經(jīng)驗豐富的 INFICON 工程師提供支持

INFICON英?？?/span>光學氣體分析儀（Quantus® LP100+）

技術(shù)規(guī)格

尺寸圖

杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進度。