掃描透射探測(cè)器在不同角度散射的透射電子反映樣品的不同信息，可獲得以下信號(hào)：

• 明場(chǎng)像（BF）通常代表薄片樣品的布拉格衍射取向和質(zhì)厚襯度
• 暗場(chǎng)像（DF）包含部分取向襯度和輕元素的成分襯度
• 高角度暗場(chǎng)像（HADF）包含多的是成分襯度 散射角取決于材料、薄片的厚度和電子束能量。

掃描透射探測(cè)器散射角取決于材料、薄片的厚度和電子束能量。
 
應(yīng)用：STEM 探測(cè)器用于研究生物樣品中的超微結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體器件的失效分析和材料的表征。
 
TESCAN 開發(fā)了兩種類型的 STEM 探測(cè)器，都可以用于 SEM 或 FIB-SEM系統(tǒng)，對(duì)于 FIB-SEM 系統(tǒng)而言，它有助于制備高質(zhì)量薄片樣品并進(jìn)行原位分析，增強(qiáng)了儀器的分析能力。