X射線熒光光譜法，是用X射線管發(fā)出的初級(jí)線束輻照樣品，激發(fā)各化學(xué)元素發(fā)出二次譜線（X-熒光）。X射線熒光分析儀分為波長(zhǎng)色散型（WD-XRF）與能量色散型（ED-XRF）兩種。兩者雖然同屬于X射線熒光分析儀，產(chǎn)生信號(hào)的方法相同，后得到的波譜也極為相似，但由于采集數(shù)據(jù)的方式不同，兩者在原理和儀器結(jié)構(gòu)上有所不同，功能也有區(qū)別。

1、原理上

波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀（WD-XRF）是用分光近體將熒光光束色散后，測(cè)定各種元素的特征X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度，從而測(cè)定各種元素的含量。

能量色散型熒光光譜儀（ED-XRF）是借組高分辨率敏感半導(dǎo)體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線熒光按光子能量分離X色線光譜線，根據(jù)各元素能量的高低來(lái)測(cè)定各元素的量，由于原理的不同，故儀器結(jié)構(gòu)也不同。

2、結(jié)構(gòu)上

波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線管），樣品室，分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成。

為了準(zhǔn)且測(cè)量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系統(tǒng)安裝在一個(gè)精密的測(cè)角儀上，還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置。由于晶體的衍射，造成強(qiáng)度的損失，要求作為光源的X射線管的功率要打，一般為2-3千瓦，單X射線管的效率極低，只有1%的功率轉(zhuǎn)化為X射線輻射功率，大部分電能均轉(zhuǎn)化為而能產(chǎn)生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置（水冷或油冷），因此波譜儀的價(jià)格往往比能譜儀高。

 

能量色散型熒光光譜儀（DE-XRF），一般由光源（X-線管），樣品室和檢測(cè)系統(tǒng)等組成，與波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀的區(qū)別在于他不分光晶體，由于這一特點(diǎn)使能量色散型熒光光儀具有如下的優(yōu)點(diǎn)：

1、儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。裝置既省略了晶體的精密運(yùn)動(dòng)裝置，也無(wú)需調(diào)整。還避免了晶體衍射所照成的前度損失，光源使用的X射線管功率低，一般在100W一下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。

2、 能量色散型熒光光儀的光源。樣品，檢測(cè)器彼此靠得越近，X射線的利用率很高，不需要光學(xué)聚集，在累計(jì)整個(gè)光譜時(shí)，對(duì)樣品位置變化不象波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀那樣敏感，對(duì)樣品形狀也無(wú)特殊要求。

3、在能量色散型熒光光譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X射線光子同時(shí)進(jìn)入檢測(cè)器，這樣奠定了使用多道分析器和熒光同時(shí)累計(jì)和現(xiàn)實(shí)全部能譜（包括背景）睇基礎(chǔ)，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導(dǎo)體檢測(cè)器X射線光譜儀能比晶體X射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。

4、能量色散型熒光光譜儀減小了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線波長(zhǎng)的漂移影響。由于同時(shí)累積還減少了一起的漂移影響，提高凈計(jì)算的統(tǒng)計(jì)精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時(shí)累積觀察和測(cè)量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，減少偶然錯(cuò)誤判斷某元素的可能性。