ICP-MS應(yīng)用于環(huán)境領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，因?yàn)樗粌H可以測定全部金屬元素的濃度，還可以給出同位素的信息。ICP-MS主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、射頻（RF）發(fā)生器、動態(tài)反應(yīng)池系統(tǒng)、四極桿質(zhì)量分析器系統(tǒng)、檢測器和軟件等部分組成。

ICP-MS可以分析元素周期表中所有金屬元素，檢出限在1ppt以下。同時(shí)可以分析絕大部分非金屬元素，例如As、Se、P、S、Si、Te等，檢出限低于1ppb，如果配合使用氫化物發(fā)生器，這些非金屬的檢出限可以改善10倍以上。

ICP-MS的發(fā)展與ICP-OES有很多相似之處，在進(jìn)樣系統(tǒng)部分幾乎是一樣的。目前ICP-MS較引人注目的發(fā)展是動態(tài)反應(yīng)池技術(shù)。動態(tài)反應(yīng)池（DRC）是內(nèi)有一個四極桿系統(tǒng)的反應(yīng)池。與中階梯分光ICP-OES相似，DRC-ICP-MS具有雙四極桿質(zhì)量分析器，即ICP-MS-MS，DRC部分進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)并與主四極桿同步掃描實(shí)現(xiàn)離子初步選擇和過濾，大大延長了ICP-MS主四級桿質(zhì)量分析器的壽命，提高了ICP-MS的性能和靈活度。