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泰勒霍普森白光干涉儀CCI信息

2026-1-13 閱讀(296)

CCI HD:適配制造與研究領(lǐng)域的高精度膜厚測(cè)量方案

CCI HD 是非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀,具備精準(zhǔn)測(cè)量薄膜與厚膜的核心能力。其采用關(guān)聯(lián)算法,可精準(zhǔn)定位由精密光學(xué)掃描裝置生成的干涉圖相干峰與相位;整合非接觸式尺寸測(cè)量技術(shù)與優(yōu)異的厚薄膜測(cè)量方案,除提供尺寸、粗糙度測(cè)量功能外,還可實(shí)現(xiàn)兩種類型的膜厚測(cè)量。
近年來,厚膜分析已廣泛應(yīng)用于厚度約 1.5 微米的半透明涂料研究,實(shí)際測(cè)量厚度上限取決于材料折射率與標(biāo)的物數(shù)值孔徑(NA)。相對(duì)而言,薄涂層測(cè)量難度更高,而通過干涉測(cè)量法,現(xiàn)已可實(shí)現(xiàn)厚度低至 50 納米的薄涂層研究(測(cè)量上限同樣取決于材料折射率)。借助該新型測(cè)量方法,可在單次測(cè)量中同步獲取膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷及薄涂層表面剝離等關(guān)鍵特性參數(shù)。
泰勒·霍普森 CCI HD 非接觸式白光干涉輪廓儀核心優(yōu)勢(shì)參數(shù):
  1. 2048×2048 像素陣列,兼具寬廣視場(chǎng)與高分辨率

  2. 全量程 0.1 埃超高分辨率

  3. 適配 0.3% - 100% 全范圍表面反射率測(cè)量

  4. 重復(fù)性優(yōu)異:<0.2 埃 RMS 重復(fù)性,<0.1% 臺(tái)階高度重復(fù)性

  5. 搭載多語(yǔ)言版本 64 位控制與分析軟件,操作便捷

  6. 2.2 mm 垂直測(cè)量范圍,配備閉環(huán)無壓電 Z 軸掃描儀

  7. 標(biāo)準(zhǔn)配置 AutoStitch 功能,可實(shí)現(xiàn)大型零件的高分辨率測(cè)量





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