PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領(lǐng)域的解決方案供應商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

Physik Instrumente P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)

P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)

§ 6個運動軸：3個為線性，3個為旋轉(zhuǎn)

§ 行程達200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來gao線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

應用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 生物技術(shù)

§ 掩模/晶圓定位

§ 樣本定位

§ 干涉測量

§ 計量

訂購信息

P-562.6CD

PIMars6軸納米定位系統(tǒng)，200微米，1毫弧度，平行計量 可按需提供其他行程。

PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)