采購型號：卓水越電子級超純水系統(tǒng)ZYUP-DEH-2500L

采購單位：四川某新材料公司

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超純水設(shè)備在新材料領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下方面：

半導(dǎo)體制造

超純水通過雙級反滲透、EDI及拋光混床等工藝，產(chǎn)出電阻率超過18.2 MΩ·cm的純水，用于晶圓清洗、化學(xué)試劑配制及封裝工藝。其高純度可避免金屬離子、有機物等雜質(zhì)干擾光刻、蝕刻等精細操作，直接影響芯片良率和可靠性。 ?

鋰電池生產(chǎn)

鋰電池制造需使用超純水清洗電極材料、配制電解液，高純度可減少雜質(zhì)對電池性能的影響，提升充放電效率和安全性。 ??

太陽能電池

超純水用于硅片清洗和化學(xué)試劑配制，其低TOC（總有機碳）特性可避免有機物殘留影響光電轉(zhuǎn)化效率。 ??

化工廢水處理

中電環(huán)保等企業(yè)通過全膜法、樹脂吸附等技術(shù)，將超純水應(yīng)用于新材料生產(chǎn)廢水處理，實現(xiàn)廢水回用及排放，降低生產(chǎn)成本并減少環(huán)境污染。

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ZYUP系列

高純水制備系統(tǒng)

產(chǎn)品說明

ZYUP系列高純水制備系統(tǒng)，亦稱超純水制備系統(tǒng)，是通過陰陽離子混床樹脂或EDI電除鹽裝置把純水純化為符合一級水標(biāo)準的高度超純水；通過離子交換法，使氫型樹脂交換水中的陽離子、氫氧型樹脂交換水中的陰離子，交換下來的H+和OH-結(jié)合成電離度很小的高純水（H20）；離子交換是一種傳統(tǒng)的、工藝成熟的脫鹽處理技術(shù)，在制備高純水領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

              技術(shù)參數(shù)：

u 產(chǎn)水量：0.25m3 /h ～ 50 m3/h   (參考用戶用水量選型)；

u 離子去除率 ≥ 99%；

u 內(nèi)毒素、細菌去除率：≥ 99%；總有機碳（TOC）≤20ppb；

u 回收率：≥50% ～ 75% ；

u RO產(chǎn)水電導(dǎo)率：≤ 10～15uS/cm @25℃（原水水質(zhì)TDS ≤ 400ppm）；

u UP產(chǎn)水電阻率：≥10～18.25MΩ.cm(可根據(jù)用戶水質(zhì)要求選取達標(biāo)的工藝)；

u 出水標(biāo)準：符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準；符合美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)；符合中國電子級水【GB/T11446.1-2013】水質(zhì)標(biāo)準。

u 進水要求：市政供水； 供水壓力：0.2～0.4MPa；進水溫度：5～40℃；

u 環(huán)境溫度：5-40℃，濕度＜85%RH，無粉塵和強電磁干擾；

性能特點：

u 全自動PLC控制系統(tǒng)，7/10寸觸摸顯示屏；

u 具有開機自檢，缺水停電自動停機保護，來水自動開機制水，無壓力保護系統(tǒng)，水滿停機等安全裝置；

u 預(yù)處理系統(tǒng)具備自動清洗和自動再生運行功能；

u 具備開機RO膜自動沖洗和水箱水滿自動雙沖洗功能，可延長RO膜壽命；

u 具備水質(zhì)在線監(jiān)測（電導(dǎo)率、電阻率雙顯示），流量和壓力在線顯示；

u 機架式設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，外形美觀，操作方便，實現(xiàn)人機對話，而無需專人值守；

u 設(shè)備故障具備自動報警提醒功能；

u 出水水質(zhì)優(yōu)良、穩(wěn)定，出水pH接近中性；

u 核心部件（泵、RO膜、拋光混床樹脂、EDI電除鹽裝置等）采用進口/ 國產(chǎn)合資品牌，穩(wěn)定性高；

u 設(shè)備機架采用不銹鋼材質(zhì)，低壓管路為UPVC材質(zhì)，高壓管路采用SUS304/316不銹鋼材質(zhì)；管路材質(zhì)多種可選；