日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀OMD-1000
這是一臺(tái)光譜膜厚監(jiān)測(cè)儀，用于監(jiān)測(cè)在用單色光進(jìn)行氣相沉積過(guò)程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中，并作為膜厚監(jiān)測(cè)設(shè)備完成，該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。

日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀OMD-1000

 

這是一臺(tái)光譜膜厚監(jiān)測(cè)儀，用于監(jiān)測(cè)在用單色光進(jìn)行氣相沉積過(guò)程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中，并作為膜厚監(jiān)測(cè)設(shè)備完成，該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。

全波長(zhǎng)范圍

在傳統(tǒng)型號(hào)中，波長(zhǎng)選擇是濾光片類型，但是新產(chǎn)品結(jié)合了我們成熟的光譜儀，現(xiàn)在可以選擇任何波長(zhǎng)。
膜厚變化的信號(hào)是從電壓輸出到與個(gè)人計(jì)算機(jī)兼容的數(shù)字輸出，控制機(jī)制是從手動(dòng)操作到個(gè)人計(jì)算機(jī)的命令控制。此外，通過(guò)將薄膜厚度計(jì)主體通過(guò)I / F直接連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)來(lái)控制其厚度成為可能，這是一個(gè)非常緊湊的系統(tǒng)，無(wú)需像其他制造商一樣具有控制器。

特征

• 分光鏡設(shè)計(jì)緊湊
• 通過(guò)提高抗噪聲性（靜電放電測(cè)試耐受電壓±5 kV）實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚度監(jiān)控
• 可以通過(guò)PC上的命令自動(dòng)控制
• 通過(guò)將控制器合并到接收器主體中來(lái)實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比

日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀OMD-1000

產(chǎn)品規(guī)格

模型	OMD-1000
光譜儀類型	Zellny Turner類型單單色
波長(zhǎng)范圍	保證范圍：380至900 nm可操作 范圍：350至1100 nm
波長(zhǎng)分辨率	狹縫0.5mm：4.2nm [546nm] 狹縫1.0mm：8.3nm [546nm]
波長(zhǎng)精度	±1.0納米
小波長(zhǎng)進(jìn)給	0.1納米
外部控制	RS232C
外部輸出端子	DC0-2V（滿量程）
采樣間隔	100ms以上
靜電放電試驗(yàn)?zāi)碗妷?/td>	±5kV（實(shí)際8kV）
光源	12V100W鹵素?zé)?/td>
光強(qiáng)度穩(wěn)定性	±0.1％/ h以下
輸入電壓	AC100V 50/60赫茲
允許輸入電壓	AC85-132V
視在功率	340VA以下
使用環(huán)境	溫度10-35℃ 濕度20-80％