日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列
這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開(kāi)發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過(guò)濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開(kāi)發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

 

• 高耐腐蝕性
  對(duì)應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進(jìn)行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其出色的耐腐蝕性能力。
• 高精度、高可靠性
  直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和*擬合線的最大偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
• 測(cè)定范圍寬
  表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm²）到20,684KPa（210KGf/cm²），絕對(duì)壓的壓力范圍為0～2,586torr。
• 使用壽命長(zhǎng)
  各測(cè)量范圍都通過(guò)了100萬(wàn)次的循環(huán)耐久測(cè)試。
• 輸出
  輸出可以選擇4～20mA或0～5V，可以連接各種數(shù)字式面板儀表和可編程邏輯控制器。

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

規(guī)格

 

型號(hào)		表壓※						絕對(duì)壓
	PSI	25G	50G	100G	200G	500G	3000G	15A	25A	50A
壓力范圍	KPa	0～172.4	0～344.7	0～689.5	0～1,378.9	0～3,447.3	0～20,684	0～103.4	0～172.4	0～344.7
	kgf/cm2	0～1.76	0～3.52	0～7.03	0～14.06	0～35.16	0～210.9	-	-	-
	torr	-	-	-	-	-	-	0～776	0～1,293	0～2,586
精度（％ 全量程)		±0.5％		±0.25％				±0.5％

 

※可選項(xiàng)：表壓類型的輸出基準(zhǔn)可以為真空（-100KPa）。（訂購(gòu)時(shí)需要指ding）

 

過(guò)載壓力	全量程×2
保存溫度范圍	-40℃ ～ 85℃ （未通電）
溫度補(bǔ)償范圍	0℃ ～ 70℃
溫度漂移	±0.05%　FS/℃
外部泄漏量	2×10-11Pa?m3/sec
氣體（液體）接觸部分	哈司特鎳合金®
連接零件	1/4"　Gasket seal、 Compression seal、其它

 

型號(hào)	604	605
激勵(lì)電源電壓	DC 12～26V	DC 12～26V
信號(hào)輸出	4～20mA	0～5V
跨度	16mA±0.16mA	5V±0.5V
偏移量	4mA±0.4mA	0V±0.1V