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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡介： GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀， 特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜 （如 Ti 、Al 、Au 等） 和小分子的有機(jī)物。 本機(jī)設(shè)有 4 個(gè)蒸鍍加熱舟， 每個(gè)加熱舟都可獨(dú)立進(jìn)行蒸鍍， 加 熱舟上方有一個(gè)可旋轉(zhuǎn)擋板， 當(dāng)其中一個(gè)加熱舟進(jìn)行蒸鍍時(shí)擋板將其它三個(gè)鎢舟遮住， 以防蒸鍍材料之間 相互污染。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜， 可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽能電池方面的研 究要求，是一款鍍膜效果理想且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有 5 個(gè)水冷 電極， 在工作過程中可有效保護(hù)電極溫度不會(huì)因溫度過高而熔化， 進(jìn)而損壞電極。該機(jī)采用金屬腔室， 具 有的真空度，真空度可達(dá)到 5.0×10-7torr ，樣品臺可對樣品進(jìn)行加熱，加熱溫度為室溫-500℃ ，是進(jìn)行 高真空蒸發(fā)鍍膜的設(shè)備。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀 |
產(chǎn)品型號 | GSL-1800X-ZF4 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、工作臺：落地式， 占地面積 2m2 以上。 |
4、通風(fēng)裝置：需要 | |
主要特點(diǎn) | 1、真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。 2、采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。 3、真空腔體設(shè)有 1 個(gè) KF40 旁抽閥（直接與前級機(jī)械泵相連，提高效率）、 1 個(gè) CF150 閘板閥 |
（直接與分子泵相連） 、1 個(gè) KF16 法蘭（安裝電阻規(guī)） 、6 個(gè) CF35 法蘭（ 1 個(gè)安裝電離規(guī)， 1 個(gè)安裝 2 芯電極， 1 個(gè)安裝膜厚儀） 3 個(gè)備用。 4、在腔體底部配有 5 個(gè)水冷電極， 可支持 4 個(gè)蒸鍍加熱舟。 | |
5、樣品臺安裝在腔體的頂部。 6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀， 膜厚測量分辨率（鋁） 為0.1?。 7、可使用循環(huán)水冷機(jī)。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入： 單相 AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW （不含真空泵） 2、蒸發(fā)輸出： 電壓 AC 0-8V 連續(xù)可調(diào)，極限蒸發(fā)電流 200A，極限蒸發(fā)功率<1.6KW |
3、真空腔： ?300mm （內(nèi)徑）× 400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4、觀察窗： ?100mm，采用專用密封圈密封 5、真空泵：高抽速渦輪分子泵， 抽速600L/s 6、真空度： 8.0x10-4Pa | |
7、極限真空 8.0x10-5Pa 8、漏率： 6.7×10-8Pa ·L/S 9、樣品臺：φ 120 10、蒸發(fā)舟與樣品臺間距： 150-210mm 11、冷卻水需量： 15L/min | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 900mm×1100mm×1800mm；重量： 230kg |