在真空紫外、極紫外光譜分析領(lǐng)域,寬譜與高精度探測(cè)需求推動(dòng)設(shè)備迭代。超環(huán)面光柵單色器憑借像差校正技術(shù)與精簡(jiǎn)設(shè)計(jì),成為寬譜分析核心裝備,實(shí)現(xiàn)10-300nm穩(wěn)定覆蓋,兼顧高分辨與高光通量,為前沿領(lǐng)域精準(zhǔn)分析提供支撐。
核心技術(shù):鑄就寬譜高精度分析能力
其核心競(jìng)爭(zhēng)力源于像差校正超環(huán)面光柵的應(yīng)用,以單一光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)衍射分光,通過(guò)特殊曲面校正像差,在10-300nm寬譜內(nèi)保障高分辨與高光通量。無(wú)需復(fù)雜補(bǔ)償結(jié)構(gòu),簡(jiǎn)化布局且規(guī)避能量損耗,提升光學(xué)效率,適配探測(cè)需求。
寬譜適配性強(qiáng)化其核心地位,選配不同光柵可靈活覆蓋10-300nm全波段,適配真空紫外、極紫外場(chǎng)景,滿足多領(lǐng)域差異化寬譜探測(cè)需求。
關(guān)鍵參數(shù):夯實(shí)核心裝備性能基石
嚴(yán)苛參數(shù)為高性能保駕護(hù)航,圍繞寬譜高精度需求優(yōu)化,筑牢核心裝備性能根基:
-波長(zhǎng)范圍10~300nm,可通過(guò)光柵選配實(shí)現(xiàn)全波段靈活適配;
-低像散特性配合像差校正,提升信號(hào)純凈度,保障寬譜分析精度;
-高真空兼容適配10??Pa,支持10??Pa超高真空定制,減少氣體分子干擾;
-在線可調(diào)狹縫5μm~300μm連續(xù)可調(diào),兼顧微量探測(cè)與寬譜掃描;
-單光學(xué)元件設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、效率高,降低維護(hù)成本,提升穩(wěn)定性;
-遠(yuǎn)程激光瞄準(zhǔn)快速定位測(cè)點(diǎn),簡(jiǎn)化操作,提升寬譜分析效率;
-光譜分辨率0.1nm(37.93nm處),支持按需優(yōu)化調(diào)整;
多元應(yīng)用:核心裝備賦能前沿領(lǐng)域
憑借寬譜、高精度、高穩(wěn)定性優(yōu)勢(shì),該設(shè)備深度賦能前沿領(lǐng)域。強(qiáng)場(chǎng)物理領(lǐng)域可捕捉條件光譜信號(hào);半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?yàn)樾酒に噧?yōu)化、材料表征提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù),保障良率。
在計(jì)量級(jí)標(biāo)定領(lǐng)域,可精準(zhǔn)標(biāo)定紫外、極紫外探測(cè)器及光源;在極紫外反射率研究領(lǐng)域,為光學(xué)元件研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。
綜上,該設(shè)備以像差校正技術(shù)為核心,適配寬譜分析核心需求,是科研與工業(yè)質(zhì)控的關(guān)鍵裝備,推動(dòng)寬譜光譜技術(shù)向更高精度、更高效方向邁進(jìn)。
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