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當前位置：山金工業(yè)（深圳）有限公司>>OSAKAVACUUM大阪真空>> 全新OSAKAVACUUM大阪真空 TG1303 液環(huán)真空泵
更新時間：2026-01-27 19:49:10瀏覽次數(shù)：333次
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OSAKAVACUUM大阪真空 TG60F-20 復合分子泵
| 電動機功率 | 350kW | 外形尺寸 | 1350 x 800 x 160mm |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 化工,建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,綜合 | 重量 | 100kg |
| 加壓能力 [kN] | 800 | 行程長度 [毫米] | 25 - 60 |
| 劃水次數(shù) [SPM] | 180 - 2500 | 模具高度（可調(diào)整） [mm (mm)] | 228-230(20) |
| 支撐 RL x FB xt [毫米] | 1350 x 800 x 160 |
OSAKAVACUUM大阪真空 TG1303 液環(huán)真空泵
OSAKAVACUUM大阪真空 TG1303 液環(huán)真空泵
目的
半導體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理、表面改性
制造各種電子元件
分析和測試設(shè)備
管材制造、光學元件制造
加速器、輻射設(shè)施和核聚變研究
熱處理
研究與開發(fā)
*排放腐蝕性氣體時，請選擇與化學品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
控制器模型TC66
輸入電壓（ACV）100-230
輸入頻率（赫茲）50/60
輸入相位數(shù)單相
最大功率需求（VA）240
輸出頻率（赫茲）1150
質(zhì)量（千克）2.4
標準配件輸入接口：1個；
遠程接口：1個；
使用說明書：1份
適用泵型號TG60F-20
TG-F系列柔性定位復合分子泵
采用油脂潤滑滾珠軸承使得這些泵結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低廉。它們還具有很高的抗沖擊性，因此適用于安裝在便攜式設(shè)備或設(shè)備的移動部件上，該系列產(chǎn)品探索了渦輪分子泵的新可能性。產(chǎn)品系列流量范圍從 50 升/秒到 2400 升/秒。
渦輪分子泵（復合分子泵）的泵送原理
渦輪分子泵由多級動葉片和靜葉片組合而成。葉片傾角和旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系如下圖所示。來自高真空側(cè)的氣體分子在進出動葉片時會朝著不同的方向運動。然而，葉片的傾角和旋轉(zhuǎn)方向會將它們引導至后級，同時引導它們更容易穿過靜葉片。從后級穿過靜葉片并向后運動的氣體分子，也會因與動葉片接觸而被引導至后級。葉片的傾角使得氣體分子能夠輕松地從前級通過（排氣方向和回流方向的流量差較大），而氣體分子則難以從后級向后運動（排氣方向和回流方向的流量比較大）。在分子流區(qū)域，動葉片和靜葉片共同完成渦輪分子泵的基本功能。
我們在動葉片和靜葉片的組合結(jié)構(gòu)中增加了一個“螺紋槽"。氣體分子被吸引到圓柱形旋轉(zhuǎn)部件（轉(zhuǎn)子）的壁面，最終沿著固定部件（定子）上的螺紋槽被送至背壓側(cè)。這種螺紋槽的作用使得泵不僅可以在分子流區(qū)域進行抽氣，還可以在中間流區(qū)域進行抽氣，從而制造出一種能夠?qū)崿F(xiàn)高流量抽氣的渦輪分子泵（復合分子泵），尤其是在中間流區(qū)域。這拓寬了渦輪分子泵的工作范圍，使其能夠應用于更廣泛的領(lǐng)域。此外，由于它們能夠在高背壓下運行，因此也擴大了輔助泵的選擇范圍。
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