OSAKAVACUUM大阪真空 TG1003 化學(xué)渦輪泵

OSAKAVACUUM大阪真空 TG1003 化學(xué)渦輪泵

 產(chǎn)品查找器 渦輪分子泵 TG1003

TG1003

　■耐腐蝕性氣體排放的化學(xué)型

　■能夠抵抗突然大氣入侵的結(jié)構(gòu)

　■ 抗外部沖擊

　■可進(jìn)行串行通信

　■安全標(biāo)準(zhǔn)

　　NRTL/SEMI-S2/CE

目的

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD制造

?表面處理、表面改性

?制造各種電子元件

燈泡制造、光學(xué)元件制造

加速器、輻射設(shè)施、核聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

*對(duì)于潔凈工藝，請(qǐng)選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。

規(guī)格

外部尺寸

性能曲線

控制器

進(jìn)氣法蘭 VG150

CF160

ISO-B160

泵送速度N2 （升/秒）1000

N 2（帶防護(hù)網(wǎng)）（升/秒）940

H2 （升/秒）1000

最大壓縮比 N21× 108

H24× 103

極限壓力 VG?ISO-B/CF (Pa)<1×10?? / <1× 10??

VG?ISO-B/CF（托）<7.5×10-9 / < 7.5× 10-10

最大氣體流量*1N2 （ sccm）2715

啟動(dòng)時(shí)間（分鐘） 9-12

停機(jī)時(shí)間（分鐘）9-13

允許的輔助壓力（帕/托）300/2.3

推薦的備用泵（升/分鐘）500

潤(rùn)滑劑用量（毫升）260

安裝位置垂直（±10°）

大量的（千克）50

控制器模型TC1003

*1：輔助泵流量為 1000L/min 時(shí)的最大允許流量

[環(huán)境工作溫度]

保證極限壓力下的環(huán)境溫度為10至23℃，允許的環(huán)境溫度為10至40℃。保證極限壓力下冷卻水溫度為30℃或以下，允許的冷卻水溫度為10至35℃。

[兼容氣體類(lèi)型]

根據(jù)吸入氣體的類(lèi)型，可能會(huì)導(dǎo)致軸承潤(rùn)滑劑和內(nèi)部零件劣化。請(qǐng)聯(lián)系我們了解兼容的氣體類(lèi)型。

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