LINTEC琳得科 VU-3000 清潔無(wú)載體汽化器

LINTEC琳得科 VU-3000 清潔無(wú)載體汽化器

質(zhì)量流量控制器 | 汽化器 | 流量控制領(lǐng)域的先驅(qū)

汽化器和汽化技術(shù)

汽化器（直接汽化法）

緊湊型無(wú)載體汽化器 [VU-3100]

緊湊型無(wú)載體汽化器 [VU-3100]

一種配備壓電致動(dòng)器的緊湊型無(wú)載體汽化器。

壓電執(zhí)行器控制閥能夠控制微小的流量并快速響應(yīng)，它控制著緊鄰汽化室的液體流量。

流量可控的液體擴(kuò)散到網(wǎng)狀過(guò)濾器中，并在汽化室中加熱，即使在極低的流速下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的汽化。

緊湊型無(wú)載體汽化器

VU-3100

特征

非載體汽化

微流汽化

閥門(mén)鄰近

節(jié)省空間

可維護(hù)性

使用示例

TEOS的非攜帶性汽化

基于高溫微生物燃料電池的無(wú)載體汽化技術(shù)存在汽化量小的缺點(diǎn)。VU-3100 采用獨(dú)特的無(wú)載體結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊，卻能夠?qū)崿F(xiàn)無(wú)載體汽化，并以 5 g/min (538 SCCM) 的流量供應(yīng) TEOS。

規(guī)格

最高溫度

所需壓差

TEOS最大汽化流量

海豹

150℃

50至300千帕

5克/分鐘

奧

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