產(chǎn)地類別	進(jìn)口	產(chǎn)品種類	差壓式
價格區(qū)間	面議	介質(zhì)分類	氣體
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件	動態(tài)范圍	0.05～50 SLM（支持多量程切換）
支持氣體	N?、H?、Ar、O?、He、CO?、CF? 等常見工藝氣體	控制精度	±1.0%
響應(yīng)時間	≤1 秒	通信接口	RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA）
使用溫度	5～50°C	工作壓力	≤0.5 MPa（參考?xì)怏w不同略有差異）
接口類型	1/4

HORIBA SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是一款高性能多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），專為半導(dǎo)體、化學(xué)氣相沉積（CVD）、等離子體蝕刻及其他高精度氣體控制應(yīng)用設(shè)計。其核心優(yōu)勢在于多氣體、多量程、快速響應(yīng)與高精度控制的結(jié)合，極大提高了設(shè)備兼容性與工藝靈活性。

產(chǎn)品特點

多氣體/多量程支持
內(nèi)置多種氣體校準(zhǔn)參數(shù)與多檔滿量程設(shè)置（Multi-Gas/Multi-Range，MG/MR），可通過配置軟件靈活切換氣體類型及流量范圍，無需更換設(shè)備。
高速響應(yīng)性能
借助 HORIBA 的“可變 PID 控制技術(shù)"，實現(xiàn) 1 秒內(nèi)響應(yīng)至設(shè)定流量值，提升生產(chǎn)效率。
高精度控制
利用非線性多項式曲線補(bǔ)償，實現(xiàn) ±1% S.P. 的控制精度，確保工藝穩(wěn)定性。
多種通信接口可選
支持 DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485、模擬電壓/電流信號等，便于系統(tǒng)集成。
緊湊設(shè)計，安裝方便
緊湊型模塊設(shè)計適合狹小空間的機(jī)柜或管道系統(tǒng)，無需改動原有布局。
遠(yuǎn)程配置與診斷
支持通過 HORIBA 提供的軟件進(jìn)行參數(shù)設(shè)定、氣體/流量切換、狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷。

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)	數(shù)值
控制范圍	0.05～50 SLM（支持多量程切換）
支持氣體	N?、H?、Ar、O?、He、CO?、CF? 等常見工藝氣體
控制精度	±1.0% S.P.（設(shè)定點）
響應(yīng)時間	優(yōu)于 ±1.0% F.S.
重復(fù)性	≤1 秒（0～設(shè)定點）
通信接口	RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA）
工作壓力	≤0.5 MPa（參考?xì)怏w不同略有差異）
使用溫度	5～50°C
接口類型	1/4" VCR® / Swagelok® 可選
電源要求	+15～+24V DC，最大3W
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)	SCE、RoHS、SEMI 等

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制程（CVD、Etching、ALD 等）
精密化學(xué)反應(yīng)器
氣體混配與輸送系統(tǒng)
表面處理與薄膜沉積設(shè)備
光電/太陽能行業(yè)設(shè)備
激光切割與工業(yè)氣體控制

国产精品日韩经典中文字幕,国产做无码视频在线观看,波多野av日韩一区二区,免费脚交足在线播放视频

多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器返回列表頁

HORIBA SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品特點

技術(shù)規(guī)格

應(yīng)用領(lǐng)域

化工儀器網(wǎng)

會員登錄

收藏該商鋪

提示

国产精品日韩经典中文字幕,国产做无码视频在线观看,波多野av日韩一区二区,免费脚交足在线播放视频

多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器 返回列表頁

HORIBA SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品特點

技術(shù)規(guī)格

應(yīng)用領(lǐng)域

化工儀器網(wǎng)

會員登錄

收藏該商鋪

提示

客戶評價列表

多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器返回列表頁