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產(chǎn)品型號HORIBA
品 牌HORIBA/堀場
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
更新時間：2025-04-07 16:46:57瀏覽次數(shù)：357次
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HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 10 SCCM 至 200 SLM |
| 支持氣體 | 多種標(biāo)準(zhǔn)及特殊氣體 | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應(yīng)時間 | ≤1秒 | 通信接口 | 模擬、RS485、DeviceNet、PROFIBUS |
HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），適用于各種工業(yè)與科研應(yīng)用。該系列產(chǎn)品通過熱式傳感器檢測氣體流量，并搭配高響應(yīng)電磁閥進(jìn)行精準(zhǔn)控制，支持多種氣體類型與廣泛的流量范圍，性能穩(wěn)定，控制精度高。
高精度熱式傳感器
內(nèi)置熱傳感器可實(shí)現(xiàn)實(shí)時流量測量，確保流量控制的高精度與重復(fù)性。
電磁閥控制
快速響應(yīng)的電磁閥結(jié)構(gòu)，具備良好的流量調(diào)節(jié)能力，適合動態(tài)工況。
多氣體兼容性
支持多種標(biāo)準(zhǔn)及特種氣體，如 N?、O?、Ar、He、H?、CO? 等。
寬流量控制范圍
控制范圍從 10 SCCM 至 200 SLM，涵蓋從實(shí)驗(yàn)室級別到工業(yè)規(guī)模的多種需求。
數(shù)字/模擬信號兼容
提供模擬 (0–5V, 4–20mA) 和數(shù)字通訊（RS485, DeviceNet, PROFIBUS）接口，便于系統(tǒng)集成。
緊湊設(shè)計，易于安裝
模塊化結(jié)構(gòu)，體積小，適合集成到各類設(shè)備或系統(tǒng)中。
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
| 可控氣體種類 | 多種標(biāo)準(zhǔn)及特殊氣體 |
| 流量控制范圍 | 10 SCCM ～ 200 SLM（以 N? 為基準(zhǔn)） |
| 控制精度 | ±1.0% F.S.（標(biāo)準(zhǔn)型） |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤1 秒 |
| 通訊方式 | 模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS |
| 供電電壓 | ±15VDC 或 +24VDC |
| 接頭類型 | 1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多種可選 |
| 操作溫度范圍 | 5 ～ 50°C |
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