TAZMO Co., Ltd.開發(fā)，制造和銷售半導體制造設備，清潔傳輸系統(tǒng)，LCD制造設備，UV激光設備電鍍設備,模具樹脂成型，PCB的電鍍/電路形成設備

日本TAZMO高清潔傳送系統(tǒng) 一般環(huán)境用搬運機器人，以無導軌方式對應3FOUP，通過替換裝置，實現(xiàn)了晶圓的高速替換，可以有償選擇映射傳感器。R.T與Z軸可分離的構造,讓日常的保養(yǎng)更簡單。可以對應大行程的升降高度。提升機械臂的剛性，也為您準備了傳送450mm晶圓的機型。

適用對象

φ100mm ~中300mmSEMI/JEITA規(guī)格晶片

伺服馬達

Servo motor

般環(huán)境 用搬運機器人

Atmospheric Robot

本產(chǎn)品是對應Wafer的搬送Robot。

實現(xiàn)高速搬送、高潔凈度的TAZMO搬送Robot中的旗艦機型。

This transfer robot handles wafer.

This high-speed, ultra clean robot are the flagship model in Tazmo line.

半導體制造相關設備

我司開發(fā)的涂布，顯影設備以積累多年的專業(yè)知識以及生產(chǎn)技術贏得了來自世界各地客戶的高度評價。

除此之外，我們還提供貼合，剝離，清潔，再生設備以及相關化學藥品供應等多樣的產(chǎn)品線。

TAZMO將竭力為客戶提供各種創(chuàng)新型解決方案。

納米壓印技術

我們將根據(jù)我們在行業(yè)中培養(yǎng)的經(jīng)驗，豐富的專業(yè)知識和設備業(yè)務進行大規(guī)模生產(chǎn)。另外，我們還提供一個整套解決方案，涵蓋從光學模擬到模具制造，蝕刻和檢查的整套方案。我們將對應各種途徑進行開發(fā)以滿足不斷變化的需求。

FPD制造設備

我司開發(fā)制作的各種平板制造設備被廣泛用于液晶顯示器制造領域。其中，用于液晶彩色濾光片的狹縫涂布裝置通過對納米級薄膜涂層的實現(xiàn)，在國際市場上獲得了確立了TAZMO的行業(yè)地位。

高清潔傳送系統(tǒng)

以準確，高速的設計理念為基礎，我們正不斷地推進對運輸系統(tǒng)所需空間的縮減。其中，我司開發(fā)的晶圓輸送機器人在實現(xiàn)高吞吐量和高精度運輸?shù)那疤嵯?，能夠提供?yōu)秀的運行穩(wěn)定性以及較長的免維護期限。

通過滿足客戶的多樣的機能需求，亦使得TAZMO獲得了業(yè)界的高度評價

TAZMO高清潔傳送系統(tǒng)一般環(huán)境用搬運機器人MTE系列，本產(chǎn)品是對應直徑300mm晶圓的智能傳送機器人

一般環(huán)境用搬運機器人MTSR系列，本產(chǎn)品是對應φ300mm晶圓的智能搬運機器人

一般環(huán)境用搬運機器人PLP對應，角基盤 300 ~ 650mm

一般環(huán)境用搬運機器人TT301A系列，本制品是應對EFEM開發(fā)的低價格，高性能智能傳送機器人

真空機器人MTP系列，適用高真空高真空機器人MTP-BB3-2

實現(xiàn)了低震動.低噪音，可以支持次世代半導體制造裝置。

預對準校正機MAF-R系列，支持高速化合物，玻璃制品背面吸附方式MAF-RAPN

本制品采用非接觸方式，可高速調整晶圓的定向平面及中心定位。

預對準校正機MAF-S系列，支持高速化合物，玻璃制品邊緣保持式MAF-SHKZ采用不接觸背面方式，將晶圓的顆粒物污染控制在最小。

款適用φ300mm晶圓的機械嵌校準器。