掃描電子顯微鏡（SEM）利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面，實現(xiàn)對樣品納米級別的觀察，具備分辨率高、景深大、立體效果好且直觀的成像特點，目前被廣泛應用于材料科學、新能源、生物科學、地礦、考古、航天、建筑等眾多領(lǐng)域，是實驗室、精工、教學等領(lǐng)域常使用的儀器設(shè)備之一。
你對掃描電鏡的基本原理、操作方法、應用場景了解多少呢？
我們將在“掃描電鏡100問"系列中
展開淺科普問答，
快來參與吧！
場發(fā)射掃描電鏡的電子光學系統(tǒng)中，對電子束聚焦精度影響較大的部件是？
物鏡直接作用于電子束，將電子束聚焦到樣品表面，其性能對電子束的聚焦精度和成像分辨率起著決定性作用；電子槍負責產(chǎn)生電子束；掃描線圈控制電子束掃描路徑，它們對電子束聚焦精度的影響均不如物鏡關(guān)鍵。
為了延長場發(fā)射掃描電鏡陰極的使用壽命，下列措施正確的是
定期進行陰極清潔維護，可去除陰極表面吸附的雜質(zhì)和污染物，保持陰極良好的電子發(fā)射性能，有助于延長陰極使用壽命。降低真空系統(tǒng)真空度會使殘留氣體分子增多，與陰極表面發(fā)生反應，縮短陰極壽命；長時間在高加速電壓下工作，會增加電子束對陰極的轟擊強度，加速陰極材料的損傷。
電子在掃描電鏡電子光學系統(tǒng)中的運動軌跡主要由什么控制的？
掃描電鏡電子光學系統(tǒng)中，電場用于加速電子，使其獲得一定的能量和速度；磁場用于控制電子束的聚焦、偏轉(zhuǎn)和掃描。
場發(fā)射掃描電鏡中，為了減少電子束與殘留氣體分子的碰撞，通常會采用以下哪種方法？
優(yōu)化真空系統(tǒng)，提高樣品室的真空度，可減少殘留氣體分子數(shù)量，降低電子束與氣體分子的碰撞概率。增加樣品室氣壓會使氣體分子增多，加劇碰撞；提高電子束能量并不能減少碰撞；增大電子束直徑與減少電子束和氣體分子的碰撞沒有直接關(guān)系。
場發(fā)射掃描電鏡在進行樣品觀察前，通常需要對樣品進行導電處理，目的是？
在掃描電鏡中，電子束轟擊樣品表面會使樣品表面積累電荷，若樣品導電性差，電荷無法及時導走，會產(chǎn)生電荷積累，導致電子束偏移、圖像畸變甚至無法成像。對樣品進行導電處理（如噴金、噴碳等），可使樣品表面形成導電層，將積累的電荷及時導走，保證電子束穩(wěn)定掃描和高質(zhì)量成像。
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