產(chǎn)品展示

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
2026-03-02 09:16:02
上海市
602

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡(jiǎn)單介紹】

應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001
產(chǎn)品概述
型號(hào)：61338-PECK-0001

類型：氣動(dòng)高真空蝶形調(diào)節(jié)閥（金屬密封，快響應(yīng)型）

品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術(shù)）

產(chǎn)品定位：面向半導(dǎo)體制造和科研設(shè)備的超高真空動(dòng)態(tài)控制

【詳細(xì)說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

1. 產(chǎn)品概述

型號(hào)：61338-PECK-0001
類型：氣動(dòng)高真空蝶形調(diào)節(jié)閥（金屬密封，快響應(yīng)型）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術(shù)）
產(chǎn)品定位：面向半導(dǎo)體制造和科研設(shè)備的超高真空動(dòng)態(tài)控制
核心特點(diǎn)：

超高真空兼容性（XHV級(jí)）
耐等離子體腐蝕設(shè)計(jì)
毫秒級(jí)快速響應(yīng)

2. 關(guān)鍵性能參數(shù)

參數(shù)	技術(shù)指標(biāo)
真空范圍	10?1? mbar ~ 大氣壓
漏率	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封版）
閥體材質(zhì)	316L不銹鋼（電解拋光，Ra≤0.5μm）
蝶板材質(zhì)	鈦合金鍍Al?O?（可選）
密封類型	全金屬密封（金包覆Inconel）
驅(qū)動(dòng)方式	雙作用氣動(dòng)（4-6 bar）
響應(yīng)時(shí)間	<50 ms（全開至全關(guān)）
溫度范圍	-20°C ~ +200°C（標(biāo)準(zhǔn)）
法蘭標(biāo)準(zhǔn)	ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8"
控制接口	4-20mA/PROFIBUS DP（可選）

3. 核心技術(shù)特點(diǎn)

① 等離子體防護(hù)系統(tǒng)

可選Al?O?或Y?O?鍍層，耐受Cl?/HBr/SF?等離子體腐蝕
流道優(yōu)化設(shè)計(jì)，顆粒釋放率<5 particles/m3（≥0.1μm）

② 超快動(dòng)態(tài)響應(yīng)

優(yōu)化氣路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)<50ms開關(guān)速度
位置反饋精度±0.5%（可選±0.1%高精度版）

③ 智能診斷功能

集成溫度/振動(dòng)傳感器（預(yù)測(cè)性維護(hù)）
支持工業(yè)4.0通信協(xié)議（OPC UA可選）

4. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

行業(yè)	具體應(yīng)用	特殊要求
半導(dǎo)體制造	原子層沉積(ALD)	脈沖響應(yīng)<50ms
	等離子刻蝕(Etch)	耐Cl?/HBr腐蝕
光伏設(shè)備	PECVD系統(tǒng)	大流量調(diào)節(jié)（Cv=1.5）
科研裝置	同步輻射光源	無磁化設(shè)計(jì)
真空鍍膜	濺射鍍膜系統(tǒng)	高精度壓力控制

5. 安裝與維護(hù)規(guī)范

安裝要求：

使用激光對(duì)中儀確保安裝偏差<0.1mm
氣路配置0.1μm過濾器（VAT P/N: FLT-100M）
運(yùn)行前進(jìn)行5次空載循環(huán)測(cè)試

維護(hù)計(jì)劃：

每季度：密封面檢查（使用VAT專用內(nèi)窺鏡）
每10?次循環(huán)：更換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)密封件
年度保養(yǎng)：氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試（建議原廠服務(wù)）

6. 同系列型號(hào)對(duì)比

特性	61338-PECK-0001	61344-PEGN-0001	61340-PACX-0001
響應(yīng)速度	<50 ms	<30 ms	<50 ms
耐溫性	+200°C	+250°C	+200°C
密封設(shè)計(jì)	單金屬密封	雙冗余密封	單金屬密封
典型應(yīng)用	通用真空系統(tǒng)	EUV/ALD	刻蝕設(shè)備

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

商品編號(hào)61338-PACN-0001

商品編號(hào)61336-PEGK-0001

商品編號(hào)61338-PEAF-0001

商品編號(hào)61340-PAAE-0001

商品編號(hào)61344-PEGK-0001

商品編號(hào)61336-PECQ-0001

商品編號(hào)61334-KAGQ-0001

商品編號(hào)61336-PAGN-0001

商品編號(hào)61334-KEAK-0001

商品編號(hào)61334-KEGN-0001

商品編號(hào)61334-KAGK-0001

商品編號(hào)61338-PAM1-0001

商品編號(hào)61340-PAGN-0001

商品編號(hào)61338-PACH-0001

商品編號(hào)61338-PAGF-0001


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1. 產(chǎn)品概述

2. 關(guān)鍵性能參數(shù)

3. 核心技術(shù)特點(diǎn)

4. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

5. 安裝與維護(hù)規(guī)范

6. 同系列型號(hào)對(duì)比

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