三氯氫硅在線色譜分析儀三氯氫硅作為制造多晶硅的主要原料，其中二氯二氫硅的含量對優(yōu)化工藝十分重要，目前一般都是取樣到實(shí)驗室進(jìn)行分析。實(shí)際中由于三氯氫硅的化學(xué)和物理特性，使本樣品取樣分析非常危險和困難，且取樣到實(shí)驗室分析對在線生產(chǎn)的指導(dǎo)時間滯后性太大。我們通過現(xiàn)場實(shí)地考察，并與現(xiàn)場各位應(yīng)用專家進(jìn)行深入交流，設(shè)計可應(yīng)用于三氯氫硅在線分析的在線色譜?？梢宰龅綄?shí)時分析現(xiàn)場管道內(nèi)樣品組分的變化，從而根據(jù)變化情況進(jìn)行優(yōu)化。

使用本設(shè)備可以每10分鐘分析一組現(xiàn)場管道內(nèi)三氯氫硅中二氯二氫硅的變化情況，通過4-20ma將二氯二氫硅的含量數(shù)據(jù)傳送給DCS系統(tǒng)，以便現(xiàn)場工藝專家可以對多晶硅的生產(chǎn)工藝進(jìn)行優(yōu)化。

　　三氯氫硅在線色譜分析儀是我們自主研發(fā)的在線分析儀器，隔爆型設(shè)計，無需大量儀表風(fēng)吹掃，模塊化設(shè)計，保證高可靠性，客戶定制方案開發(fā)，安裝調(diào)試測試為一體的交鑰匙工程服務(wù)體系