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PC300 壓力控制器

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更新時間：2025-08-01 08:35:29瀏覽次數(shù)：317評價

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產(chǎn)品簡介

PC300 壓力控制器是帶有完整流量計(jì)功能的壓力控制器，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，例如在晶圓背面冷卻系統(tǒng)中，用來控制硅片背面的冷卻氣體的壓力，如氦氣、氮?dú)?、氬氣等特殊氣體。

詳細(xì)介紹

創(chuàng)新點(diǎn)

產(chǎn)品全數(shù)字化

產(chǎn)品采用微處理器，具有高智能化、高可靠性，維護(hù)方便的優(yōu)勢。

雙重控制技術(shù)

產(chǎn)品采用雙重控制技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)、高精度的性能指標(biāo)。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體-集成電路

半導(dǎo)體-封裝

半導(dǎo)體顯示

半導(dǎo)體照明

半導(dǎo)體-微機(jī)電系統(tǒng)

功率半導(dǎo)體

化合物半導(dǎo)體

技術(shù)指標(biāo)

型號	PC300
滿量程流量	(10 20 50 100 200 500 5000)SCCM
滿量程壓力	(10 20 50 100)Torr
控制方式	Downstream
壓力控制精度	±0.2% of F.S.
控制重復(fù)性	±0.2% of F.S.
響應(yīng)時間	<1.0 Second
工作溫度范圍	10℃ to 50℃
閥類型	Normally Closed
漏率	<1x10^-12(SCC/SEC He)

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