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目錄:北京華丞電子有限公司>>真空測(cè)量控制>> BV100 蝶閥

BV100 蝶閥

  • BV100 蝶閥
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BV100 蝶閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,平板顯示,晶體硅太陽能和工業(yè)制程中,用于控制腔室的下游壓力。

創(chuàng)新點(diǎn)

雙路自匹配壓力傳感技術(shù)

支持兩路真空規(guī)信號(hào)采集,兼容±15V或±24V真空規(guī)供電,可根據(jù)工藝需求自動(dòng)切換量程。

L-V-P壓力控制技術(shù)

壓控單元通過記錄工藝環(huán)境下壓力與閥門開度關(guān)系,采用位置、速度和壓力三環(huán)相結(jié)合,同時(shí)進(jìn)行壓位比、位壓比、目標(biāo)壓力位置、到達(dá)目標(biāo)壓力估算時(shí)長(zhǎng)動(dòng)態(tài)計(jì)算,從而主動(dòng)干預(yù)閥口開度變化量,實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定控壓。

伺服驅(qū)動(dòng)技術(shù)

采用定制伺服控制片載系統(tǒng),通過多點(diǎn)斜坡控制算法,實(shí)現(xiàn)蝶板更快定位,開關(guān)響應(yīng)時(shí)間可達(dá)0.2s。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體-集成電路

半導(dǎo)體顯示

技術(shù)指標(biāo)

型號(hào) BV100
濕度

0~95%RH

接口類型

D-sub female,DA15

信號(hào)電壓

0 ~ 10VDC 線性壓力

ADC分辨率

0.1 mV

采樣時(shí)間

2ms

供電電壓( 輸出 )

+24 VDC / 1.5A max.

執(zhí)行器

步進(jìn)電機(jī)

電機(jī)分辨率

12800( 90°)

控壓精度

5 mV 或設(shè)定點(diǎn)的0.1%,取大值

防護(hù)等級(jí) IP 40
通道內(nèi)徑

40mm/50mm/63mm/80mm/100mm

閥板開關(guān)時(shí)間 0.2s

注意:

蝶閥出廠通常用電壓對(duì)傳感器信號(hào)進(jìn)行標(biāo)定

氣體壓力的單位規(guī)定為:  Torr (托)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:  溫度 -- 273.15K (0℃) ; 氣壓 -- 101325 Pa(760mm Hg)

F.S.(Full Scale): 滿量程值;  S.P.(Set Point):  設(shè)定點(diǎn)值

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