真空探針臺拉曼測試是將真空探針臺的電學測量能力和顯微共聚焦拉曼光譜儀的光學/化學分析能力結(jié)合在一起的高級表征平臺。用于測試電學測量：如I-V曲線、電阻、載流子濃度、遷移率；拉曼光譜分析：獲取材料的化學組成、晶體結(jié)構(gòu)、應(yīng)力、摻雜濃度、層數(shù)等信息等。

真空環(huán)境在這個聯(lián)用系統(tǒng)中至關(guān)重要，需要消除空氣的影響，腔體需要較高的真空漏率，保證腔室的密閉性。其次要保證電學信號的穩(wěn)定，特別是對于高阻材料和納米材料。還需要實現(xiàn)較高條件的高低溫測試，尤其需要注意在低溫下，樣品臺周圍會結(jié)霜，一個好的密閉腔體可以避免此類情況出線。