[ 產(chǎn)品簡介 ]

  蔡司場發(fā)射掃描電子顯微鏡 Sigma 360 緊貼國內(nèi)市場需求，凝結(jié)本土創(chuàng)新能力，成功開發(fā) 8 英寸晶圓全尺寸觀察解決方案。無需大體積艙室，無碰撞風(fēng)險(xiǎn)，憑借高分辨成像能力與優(yōu)異低電壓表現(xiàn)，可精準(zhǔn)測量關(guān)鍵CD尺寸，排查全制程各類微觀缺陷，全面滿足半導(dǎo)體研究開發(fā)和生產(chǎn)制造的嚴(yán)苛要求，是半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域可靠伙伴。

[ 產(chǎn)品特點(diǎn) ]

ü  “全" 視野：可觀察直徑由原來的155毫米（6英寸范圍）擴(kuò)展至204毫米（8英寸全范圍）

ü  “高"分辨：搭載Gemini鏡筒，助力關(guān)鍵尺寸測量，提供可靠數(shù)據(jù)支撐

ü  “易"操作：極坐標(biāo)軟件控樣臺，鼠標(biāo)搞定復(fù)雜操作，無碰撞風(fēng)險(xiǎn)，高效安全

[ 應(yīng)用領(lǐng)域 ]

ü  半導(dǎo)體：PMIC、IGBT、MEMS、汽車電子、CMOS 圖像傳感器等

[ 應(yīng)用案例 ]

8英寸Wafer全視野光鏡導(dǎo)航圖，可提供全尺寸電鏡導(dǎo)航

晶圓上的光刻膠圖形結(jié)構(gòu)。俯視可測量寬度間距等，傾斜可觀察并測量側(cè)壁信息

簡潔直觀的軟件界面

高分辨觀察孔洞圖形結(jié)構(gòu)光刻膠

低電壓觀察傾斜后的光刻膠側(cè)壁細(xì)節(jié)