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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
MFC-E系列緊湊型質(zhì)量流量控制器(MassFlowController)是一款專為氣體分析儀、質(zhì)譜儀、配氣儀等行業(yè)所開發(fā)的一款高精度、低溫漂、高可靠性的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有高精度流量傳感器、進電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。操作使用方便，可廣泛用于。輸出和控制信號包括：0-5V模擬信號和RS485數(shù)字通信方式。
緊湊型質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品應(yīng)用于：半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
緊湊型質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點：
溫度和壓力不敏感
設(shè)計勁湊，可安裝任意位置
超快的響應(yīng)速度
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
可模擬采集、控制或數(shù)字采集、控制
