研究重點(diǎn)是改善類金剛石（DLC）涂層的摩擦力學(xué)性能。這類涂層采用新型PVD技術(shù)高功率脈沖磁控濺射（HiPIMS），通過正脈沖沉積在工具鋼上。這些涂層因其優(yōu)異的耐磨性、極低的摩擦系數(shù)、*高的硬度或生物相容性而受到業(yè)界的高度關(guān)注。研究的目的是提高DLC涂層在不同鋼基材上的附著或耐磨性等摩擦力學(xué)性能。

我們期望借助Sensofar的3D光學(xué)輪廓儀，在更高質(zhì)量的2D和3D圖像中以更高的測量精度進(jìn)行表面表征。

我們測量了有涂層和無涂層圓形樣品和平面樣品。使用不同的鋼材和陶瓷作為基材。使DLC等高質(zhì)量涂層沉積在基材上。在這些樣品中，我們使用銷盤式摩擦計(jì)進(jìn)行摩擦和磨損測試，然后測量磨痕。

圖1a：正在其中一個(gè)樣品上進(jìn)行的摩擦和磨損測試。

圖1b：摩擦磨損測試后其中一個(gè)樣品的圖像。

圖2：用于確定涂層厚度的樣品。

研究表面或涂層的摩擦力學(xué)性能涉及許多關(guān)鍵參數(shù)：納米硬度、涂層與基材之間的附著力、粗糙度和/或者層厚或磨損性能?？梢允褂肧 mart輪廓儀，測量表面粗糙度、涂層厚度和計(jì)算磨損系數(shù)所需的摩擦磨損測試后體積損失。

在工業(yè)應(yīng)用中，耐磨性可決定材料的正確性能并確保更長的使用壽命，是一項(xiàng)非常重要的特性。確定這個(gè)數(shù)值并非易事，因?yàn)橛性S多因素在起作用：磨損機(jī)制存在變化，銷和圓盤都受到磨損。

磨損的表征并不簡單，但我們可以使用Sensofar輪廓儀，在磨損測試過程中實(shí)現(xiàn)最真實(shí)的磨損表征，并更好地測量體積損失。

體積測量

對于摩擦和磨損測試，我們使用直徑6 mm、表面最大粗糙度Ramax 0.050 µm、硬度約為1650 HV的氧化鋁球。將不同的有涂層和無涂層工具鋼樣品作為圓盤。在測試中，圓盤在以下條件下圍繞銷旋轉(zhuǎn)：40 N負(fù)載、200 rpm轉(zhuǎn)速和20,000次循環(huán)，每個(gè)樣品在8、10和12 mm（軌跡半徑）處重復(fù)測試3次。測試后會出現(xiàn)磨痕，根據(jù)磨痕測量體積損失，以確定磨損系數(shù)。

利用共聚焦技術(shù)測量體積損失，測得的體積損失用于之后的耐磨性計(jì)算。物鏡的選擇取決于磨痕的寬度，對于觀察到最寬磨痕的無涂層樣品，使用5X和10X鏡頭，而對于磨痕較窄的有涂層樣品，使用20X和50X鏡頭。

圖3：涂層的體積損失測量值通過S mart 3D光學(xué)輪廓儀（10X EPI）采集。

圖4a：WC-C 磨痕圖像。

圖4b：共聚焦輪廓儀（10X明場物鏡）采集的ta-C涂層樣品磨痕圖像。

為獲得最準(zhǔn)確的數(shù)值，磨損系數(shù)通過兩種方式確定；一種是按照ASTM G99標(biāo)準(zhǔn)確定，另一種是直接通過體積損失的共聚焦測量確定。直接使用共聚焦輪廓儀測量時(shí)，將測量的體積損失值外推到整個(gè)磨痕，并根據(jù)體積損失值計(jì)算磨損系數(shù)。

圖5：通過ASTM G99標(biāo)準(zhǔn)（橙色圖）和共聚焦（藍(lán)色圖）測量的樣品磨損系數(shù)值的比較圖。

通過S mart 3D輪廓儀實(shí)現(xiàn)了以最準(zhǔn)確方式表征涂層耐磨性的主要目標(biāo)。由于輪廓儀能夠在考慮磨痕真實(shí)形狀的情況下測量摩擦和磨損測試后的體積損失，因此通過共聚焦獲得的磨損系數(shù)值比按照ASTM G99標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算的值更低并且更真實(shí)。

厚度和粗糙度測量

此外，還可以輕松測量樣品的表面粗糙度和輪廓粗糙度，然后對比使用共聚焦和干涉測量這兩種不同的測量技術(shù)獲得的數(shù)值。通過這種方式，可以保證得到的粗糙度值的精度?；牡拇植诙瓤赡苁峭繉优c基材之間附著力的決定因素。

圖6：使用50X物鏡的共聚焦顯微鏡得到的涂層工具鋼樣品表面粗糙度測量值（截止值為0.08 mm）。

圖7：通過干涉測量（10XDI）得到的涂層工具鋼樣品輪廓粗糙度測量值。

最后，采用快速、簡便的方法測量了涂層厚度。除了粗糙度外，還使用共聚焦和干涉測量法測量了厚度，以證實(shí)結(jié)果。這種測量的主要優(yōu)點(diǎn)是不需要破壞性測試就可以測量厚度。

圖8：涂層厚度測量值通過S mart 3D光學(xué)輪廓儀采集。

粗糙度和厚度測量均可通過共聚焦（50X）和干涉測量（10X）完成。通過這種方式，我們試圖在深度上實(shí)現(xiàn)最高分辨率，以獲得最準(zhǔn)確的數(shù)值。

有許多參數(shù)對于研究表面或涂層的摩擦力學(xué)性能非常重要，如納米硬度、涂層與基材之間的附著力、粗糙度、層厚或磨損性能。Sensofar的光學(xué)輪廓儀可以評估所有這些特性，并且比其他表征方法更為準(zhǔn)確。最后應(yīng)該指出的是，S mart輪廓儀的多功能性、速度和易用性使我們可以選擇使用不同的技術(shù)來證實(shí)獲得的數(shù)值。