ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良可靠性和穩(wěn)定輸出能力的高性能射頻電源，主要運(yùn)用在半導(dǎo)體濺射、CVD、PECVD、蝕刻等制程中。ASE APG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制。APG 系列射頻電源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用，能夠在一定程度上的提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設(shè)計，小巧便捷，能夠降低客戶的使用成本。

ASE 射頻電源 APG-3000PRO RF Generator  參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：ASE

設(shè)備型號：APG-3000PRO

AC 電源輸入：3 phase~ ，AC200~220V，50/60Hz，5.3kVA

RF 射頻輸出：13.56MHz，3000W

通訊接口：Remote Control，RS-232C，EXT In/Out

設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷

水冷進(jìn)水流量：4.0L/min（1.05Gal/min）

水冷進(jìn)水水壓：MAX 0.5MPa

水冷進(jìn)水水溫：10℃~35℃

Fitting：NPT1/4（Female）

設(shè)備重量：24kg（52.8lbs）