日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵
日本 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵
特點(diǎn)
由于排氣室是非接觸的并且不使用油，因此可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定排氣。
無(wú)需冷卻水和氮?dú)?，有助于降低運(yùn)行成本。
安裝了DC密封電機(jī)實(shí)現(xiàn)節(jié)能，氣密和減重。
氣鎮(zhèn)壓機(jī)構(gòu)可以排出蒸汽。
符合CE,cTUVus
用途
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
真空干燥等水蒸氣的排出（需要使用氣鎮(zhèn)）
濺射，蒸發(fā)等真空設(shè)備
規(guī)格
| 型號(hào) | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
| 最大排氣速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
| 到達(dá)壓力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力（排出圧力） | 大氣壓 | |||||
| 電源 *2 | 單相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 單相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
| 電機(jī)額定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
| 吸氣口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||
| 質(zhì)量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
| 符合規(guī)格 | CE、cTUVus | |||||
| 冷卻方式 | 空冷 | |||||
| 氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu) *3 | 選配件 | |||||
| 最大水蒸氣處理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)附件 | 電源用連接器、信號(hào)用連接器、使用說(shuō)明書、空氣過(guò)濾器、護(hù)套 | |||||
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