OHKURA大倉 MF5141B 質(zhì)量流量控制器

OHKURA大倉 MF5141B 質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器/

MF5100B

◆ 下載

規(guī)格表（第六版）

MF5100B 系列是一款質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，它兼具易用性和高性能，包括寬流量范圍、高溫度穩(wěn)定性和三種模式的軟啟動功能。

特征

■寬廣的流量

范圍 我們提供從  5 SCCM 到 400 SLM 的寬廣流量范圍。

■高可靠性

通過集成各個回路并優(yōu)化機(jī)械系統(tǒng)，我們實(shí)現(xiàn)了緊湊尺寸下的高可靠性。

■軟啟動功能

內(nèi)置的軟啟動功能提供可調(diào)節(jié)的線性啟動時(shí)間（最長 70 秒），并可在三種模式下運(yùn)行（更改設(shè)置時(shí)、開機(jī)時(shí)以及外部閥門關(guān)閉后再打開時(shí)）。

■高穩(wěn)定性

溫度穩(wěn)定性為 0.05%/°C，泄漏標(biāo)準(zhǔn)最高可達(dá) 1× 10?1? Pa·m3 / s (He)。

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