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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合
質(zhì)量范圍	1-512 amu	桿材料	鉬
最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM)	1 E-5 mbar	軸離子源	3E-4 A/mbar
橫束離子源	7E-5 A/mbar	交叉光束氣密離子源	7E-5 A/mbar
帶磁鐵的橫束離子源	7E-4 A/mbar	帶磁鐵的交叉光束氣密離子源	7E-4 A/mbar
網(wǎng)格離子源	2E-4 A/mbar	分辨率（可調(diào)）	0.3 - 7 amu
最小可檢測部分壓力	1 E-15 mbar	帶電子倍增器的分壓比	< 0.5 ppb
最高工作溫度工作溫度（傳感器和電子元件）	150 °C	測量速度	0.125 ms - 60 s/amu

OHKURA大倉 MF5152B 質(zhì)量流量控制器

MF5100B 系列是一款質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器，它兼具易用性和高性能，包括寬流量范圍、高溫度穩(wěn)定性和三種模式的軟啟動功能。

特征

■寬廣的流量

范圍我們提供從 5 SCCM 到 400 SLM 的寬廣流量范圍。

■高可靠性

通過集成各個回路并優(yōu)化機(jī)械系統(tǒng)，我們實現(xiàn)了緊湊尺寸下的高可靠性。

■軟啟動功能

內(nèi)置的軟啟動功能提供可調(diào)節(jié)的線性啟動時間（最長 70 秒），并可在三種模式下運行（更改設(shè)置時、開機(jī)時以及外部閥門關(guān)閉后再打開時）。

■高穩(wěn)定性

溫度穩(wěn)定性為 0.05%/°C，泄漏標(biāo)準(zhǔn)最高可達(dá) 1× 10?1? Pa·m3 / s (He)。

*有關(guān)規(guī)格，請參閱規(guī)格表。

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