目錄:合美半導(dǎo)體(蘇州)有限公司>>備件>>擺臂>> 擺臂
關(guān)鍵性能:適配多樣工況,靈活控壓更智能
精準(zhǔn)壓力調(diào)節(jié):搭載精密氣壓 / 液壓控制模塊,支持 0.1-5公斤可根據(jù)實際需求增加壓力范圍, 范圍內(nèi)可調(diào)壓,可根據(jù)陶瓷、砷化鎵、單晶金剛石等不同硬度材質(zhì)工件,實時匹配拋光壓力,既避免硬脆材質(zhì)崩邊,又確保金屬薄膜等薄型工件無壓痕。
靈活擺動適配:擺臂擺動角度可按需調(diào)節(jié)(擺動角度達 20°),配合夾具自轉(zhuǎn),能輕松覆蓋圓形、異形等復(fù)雜形狀工件的拋光需求,適配直徑 50-200mm 不同尺寸工件,無需頻繁更換工裝。
場景價值:為高精度拋光 “穩(wěn)" 住核心
無論是半導(dǎo)體行業(yè)的砷化鎵晶圓精細拋光,還是航空航天領(lǐng)域的多晶碳化硅部件拋光,該上擺臂均能以穩(wěn)定的傳動精度、靈活的壓力控制,確保每一次拋光作業(yè)的一致性與高效性,助力提升工件良品率與生產(chǎn)效率。
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)