WS-ALN100150倒片機設備 參考價：面議
WS-ALN100150倒片機設備中包含1臺6軸機械手組件，設備前端設有6個Loadport工位，每3個對應1個腔室。設有2個Buffer工位，每個Buffer...
TAU Series離子微粒吸附設備 參考價：面議
TAU Series離子微粒吸附設備在面板生產(chǎn)中主要應用于曝光機設備，用于去除空氣中可能會降低曝光機鏡組折射率的有害物質(zhì)。同時具有精確控制溫度和控制濕度的功能。
TRU Series熱回收系統(tǒng)設備 參考價：面議
Oven設備是目前TFT產(chǎn)線耗電量較大的設備，Oven設備熱排管道排出的是230℃的高溫有機廢氣（光刻膠升華物），大量的熱能被浪費掉。在排氣管路上安裝熱能回收的...
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