目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測(cè)量系列>>探針臺(tái)>> FPAPO-MJ-8真空變溫探針臺(tái),變溫晶圓測(cè)試
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更新時(shí)間：2026-01-08 16:16:05瀏覽次數(shù)：648評(píng)價(jià)
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這款真空變溫探針臺(tái)是專業(yè)變溫真空晶圓流測(cè)試設(shè)計(jì)的專業(yè)變溫真空探針臺(tái),滿足晶圓變溫光電測(cè)試需要,測(cè)試溫度范圍達(dá)到液氮溫度 -180℃~600℃,特別適合高溫和極低溫環(huán)境下晶圓真空變溫測(cè)試和射頻測(cè)試。
真空變溫探針臺(tái)特點(diǎn)
測(cè)試溫度：-180℃~600℃
適合高功率器件測(cè)試20kV DC/200A
即使在真空狀態(tài)下，也可以使用外部操作型定位器（探頭）移動(dòng)致動(dòng)器
良好的光和電屏蔽效果
MJ-8型探針臺(tái)可用于霍爾效應(yīng)測(cè)量
真空變溫探針臺(tái)應(yīng)用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測(cè)試：20KV DC/200A
RF射頻測(cè)試
高功率器件測(cè)試20kV DC/200A
高溫和極低溫晶圓溫度特性測(cè)試
氣體環(huán)境測(cè)試
真空變溫探針臺(tái)可選配件
冷熱臺(tái) -180℃~+600°C
各種光源
三目顯微鏡（標(biāo)配體視顯微鏡）
CCD相機(jī)
Probe card (4.5 inch square PCB)
真空變溫探針臺(tái)可連接配合的測(cè)試儀器
設(shè)備分析儀/參數(shù)分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數(shù)字萬用表
阻抗分析儀
網(wǎng)絡(luò)分析器
真空變溫探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | MJ-8 | MJ-10 |
| 晶圓卡片尺寸 | 20x20mm | φ60㎜ |
| 真空度（使用渦輪泵） | 10?3 Pa | 10?3 Pa |
| 腔室尺寸 | φ116×30㎜（H） | φ216×138㎜（H） |
| 探針移動(dòng)距離 | X：5㎜ Y：5㎜ Z：3㎜ | X：8㎜ Y：5㎜ Z：8㎜ |
| 探針工作范圍 | X:~18㎜ Y:~15㎜ | X:~40㎜ Y:~20㎜ |
| θ分辨率 | 0.001度 | 0.000022294deg |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
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